热点:

    董刚:Micro-LED Display的制造解决方案

      [  中关村在线 原创  ]   作者:杜钢   |  责编:杜钢

    12月12日,由中国光学光电子行业协会液晶分会、中国半导体照明/LED产业与应用联盟、中国电子材料行业协会、南京平板显示行业协会、台湾显示器产业联合总会五家行业协会联合主办,南京经济技术开发区管理委员会、中国半导体行业协会、中国光学光电子行业协会发光二极管显示应用分会、南京华东电子信息科技股份有限公司、国家平板显示工程技术研究中心共同协办,华夏幸福基业股份有限公司战略合作,上海舜联文化传播有限公司承办的“2019第三届中国(国际)Micro-LED显示高峰论坛”在中国南京隆重召开。

    董刚
    东丽工程株式会社海外专任理事董刚

    各位领导、各位专家、各位业界的同仁,大家下午好,我是日本工程公司的董刚,我今天的演讲题目是Micro-leddisplay的制造解决方案。我演讲的主要内容有下面几个方面,一个是简单介绍一下我们公司,第二个是介绍一下我们在Micro-leddisplay的生产方面的一些设备技术,主要是面向量产的。最后介绍一下,我们在巨量传输方面的一些新的研发。

    我们集团最早是从化工起家的,像现在优衣库的好多衣服的材料都是自己做的。那么现在它电子材料,特别是最近几年的碳素纤维,还有水处理、海水淡化,还有一些生命科学方面也是从原来的一些传统产业向各个方面发展。现在全球大概有将近5万人,年销售额大概是220亿美金规模。那么我现在所在的公司主要有两块,一块是工程,是设计一些医疗医药方面的工厂,还有一个就是我们的锂电池的一些设备。另外就是我们在电子这一方面的,在电子这一方面,我们主要是聚焦在两个方面,一个是display,一个是半导体,那么Micro-led它实际上是既有的是也跟半导体有关,所以我们这几十年的工作,正好赶上了现在Micro-led这样一个新的发展。所以在这一方面我们把半导和液晶方面的一些设备、技术,扩大应用到了Micro-led生产这一方面。我们的总部在东京,其他在中国,在东南亚、在韩国、在我们中国台湾都有,那么在中国的话,我们现在叫上海华丽工程技术有限公司,那么在上海也有我们的公司,其他几个地方都有分布。

    我们在display这方面的,有彩膜的镀膜机,还有我们现在做Micro-led方面ingoodjob的机器,我们有激光方面的一些技术。半导体这一方面,怎么把它应用到Micro-led这边巨量传输这一方面。那么右边的话是我们一个半导体用的ay,这是一个技术。那么我们进一步发展,把它用到我们Micro-led巨量的检测。刚才我讲的做一个总结,我们在半导体跟display这两方面,有检测设备,有激光,那么正好用到Micro-led。量产生产这一方面,生产解决方案,就是一个生产线的原型,最早的话是从左边上面开始一直转到下面右边这边。那么他在晶圆上面,多少伏下来以后,你在做把基本上去转之前,你一定要分清楚哪个是好的,哪个是坏的,不能连好带坏全转过去,要么就要去做检测,那么现在LED的检测,原来的话是用探针,但是如果做到很小的话,现在做到Micro-led的话,你这个探针就是一个不可能的事情,很难的事情,而且这个数量也非常大。那么我们正好是做ly,我们以前开发了一个做叫荧光检测。我在LED上你打荧光的时候,它里边不是有荧光材料,它可以有反应。有它发光,可以不用接触直接检测到,而且可以检出它的发光的程度,灰度有情况,那么这个的话是我们现在的一个Micro-led显示这方面量产的的产品之一。那么检测出来以后,他这个是良品还是不良品,我要把这个不良品给他打掉,这个的话是用激光来把它取掉。那么打的时候如果是一个芯片坏掉了,你可以打一个,有的时候它的一个范围,我这个范围也要打掉,所以激光去打芯片的时候,这个范围要精准,也可以可调这样的。那么这样做了一些准备的时候,我就可以把良品去给它传输到sharpstraight上面去。那么这个传输我们现在已经有试验的,就我们的客户在用的。叫stamp方式。用一块一块的给它传过去,我们那么传过去以后,还是要需要检测,因为它传过去以后,传输过程中也会发生不良,你要去检测,那么有不良的时候你还要去修复,实际上修复就是一个非常长的过程,刚才前面几位已经讲了,那么根据你传输的良品率的高低,你所花的修复的时间,实际上要比你传输的时间还要长。所以这也是我们下面真正的要实现量产,需要解决的一个非常重要的一个问题,也是一个非常大的挑战。

    下面我就把我们这三个主要的设备的一个简单的情况给大家介绍一下。第1个就是我刚才讲的我们外观检测设备,我们所说的外观不仅仅是检测LED外观,而且可以检测它能不能发光。这个设备主要用在前边,我们的巨量传输之前跟传输之后的检测,这是一个设备,两边都可以做的。那么在传输之前,我们主要是想看看芯片是好的还是坏的,能不能发光。我传输之后也是一样的,他们有没有外观传输之后的一些缺陷?它这个原理我们叫pl检测。我刚才讲的,根据它的荧光。发光那么主要是两个目的,一个我要在传输之前看看本身Micro-led芯片的好坏,另外的话在传输之后,我要看一下整个传输过程的质量。那么通过这样一个设备,我们就可以得到这样一些东西。那么在传输之前,我也看一下本身它的里边一些生产情况,然后他们能不能发光?最后我们可以得到这样一个是晶圆的话,就可以得到一个的map。那么这个上面的话我就可以显示出来,每个芯片是哪个是好的,哪个是不好的。我说哪个是发光有缺陷这样的。那么我在传输的时候,我就可以把好的东西给它传过去。那么他也是在整个上面,他的坐标都有,这个数据到下边整个的量产的时候,都可以应用。这个的话在我们传输之后,在检测的时候,还有一些外观的东西,或者是电机上面没有放上去各种各样的这种外观的一些缺陷,极限性的缺陷,都可以检测出来。那么这个制备之后,我们就要做一些修复,或者是要把坏的这些东西去给它打掉。那么它主要也是用在两个方面,一个是我们巨量传输之前,在晶圆上我已经查出来它有坏的了,我先把它打掉。你不要传过去了。另外传输之后,我在检测了以后,它也有一些不良的东西也可以用,激光可以给它打掉。那么这个的话就是我们设备的基本构成,我就不多说了。一个是光学的,我们叫beam,这个可调,可小可大。另外的话它需要精度,因为Micro-led这个东西越做越小,要求精度越高越要准确。这个就是我们在打的过程中,比方说像左边你打一个芯片还是打两个芯片?右边那个的话,他可能一个范围都有问题了,那么我要把激光幕给它放大,它这个不是圆的,我们把它调整可以做的。

    下面我们用于巨量转移的一个东西,这个就是他有两个用途,第1个用途还是右上角做巨量传输的,已经弄好了的东西,把它传过去,那么传的话,onebyone也可以。我们现在可以做到30*30~70*70,一次大概能转移六七千,七八千的情况,要根据你Micro-led的大小,还有性能的情况,此外我们的合作的display的厂家,我们一起合作来做。那么做完了以后,转移完了以后,经过检测,那么还有需要一些修复,修复的时候也可以用这个设备。oneby one还是几个一起来做,也可以用这个东西来做。这个的话刚才说的pickon thepress这样一个转移的示意图,一块一块的RGB把它放上去。那么这个的话是个比较详细的一个转移的process的示意图。一开始,你要把芯片放在一个我们叫carry中间上面,然后在转移之前上面是个转移头,我要用camera知道要具体转移哪几个芯片,你要对准,然后去到那个地方去。把芯片弄起来,然后再放上去,放到基板上面去。然后才是最后把它真正的压上去。那么转完了以后,下一步去再转的时候,你要再检测一下,到底转的头上边是不是有残留的芯片?要去检测,需要清洗,大概是这么一个过程。这个的话,我们巨量转移设备的主要的技术指标关键点是精度、准确性,还有一个效率。效率的话,现在真正的量产来讲的话,可能还达不到那样的一个要求。这个的话,我们真正的已经有客户大量使用的这样一个作为一个pickandplace是吧?也是这样的方式的设备,它有两个头,一次的话大概是转移这么一块,大概在10秒钟左右。有一个是bonding,还有一个这两个同时交替的,要去取去拿,拿过来以后放上去,然后这样反复的做。我们现在已经有10级的,有些客户拿这个东西已经做出产品来,但是真正的从量产的角度来讲的话,跟我们现在的lcd液晶和OLED来讲的话,真正的Micro-led的量产的话,我觉得是一个很长的路走,特别是刚才提到巨量转移,它是一个机械性的东西,你搞来搞去是吧?不可能有很高的效率。那么我们现在正在开发的一个基于激光的来做的一个东西。现在只做出一些简单的样机来。这个我们现在面临的一些东西,我们现在做的一些设备已经做出来了,那么面临的挑战是怎么提高效率。简单的讲,上边是一个载体,Led放在上面,然后从上面打,尽管从上面打到柱子的话,芯片的可以调到下面。要跟你上面激光强度波长要配合,那么我激光打就不像之前提的方式,它是按同样的pt搬过去的。用激光打按照前面有检测出来的map,我就想往哪个地方打,坐标都有,就可以直接给它打上去了。这是巨量传输的情况。那么这到了最后修复的也一样的。我们现在做试验的话,大概现在可以一秒钟到1万以上,这当然跟材料有关系。我们本身也是一个做材料的公司,基于我们的设备和材料,一起在做这一方面的东西。这个还处于一个研发阶段,如果大家有兴趣的话,我们也希望有一个长期的这样合作共同开发这个东西。

    本文属于原创文章,如若转载,请注明来源:董刚:Micro-LED Display的制造解决方案//tv.zol.com.cn/734/7348679.html

    tv.zol.com.cn true //tv.zol.com.cn/734/7348679.html report 7376 12月12日,由中国光学光电子行业协会液晶分会、中国半导体照明/LED产业与应用联盟、中国电子材料行业协会、南京平板显示行业协会、台湾显示器产业联合总会五家行业协会联合主办,南京经济技术开发区管理委员会、中国半导体行业协会、中国光学光电子行业协会发光二极管显...
    • 猜你喜欢
    • 最新
    • 精选
    • 相关
    推荐经销商
    投诉欺诈商家: 010-83417888-9185
    • 北京
    • 上海
    • 热门电视
    • 新品上市
    推荐问答
    提问
    0

    下载ZOL APP
    秒看最新热品

    内容纠错