苏州华兴源创科技股份有限公司研发中心-中心长殷建东：《AOI（OLED）检测技术及行业分析》
苏州华兴源创科技股份有限公司研发中心-中心长殷建东
大家下午好，非常荣幸这次邀请我来做关于AOI这一块，他们都是做制程设备的难免会有不良，我们就是给他们把关的，开始之前我先花两三分钟时间简单介绍一下我们公司。华兴源创成立2005年，这是我们一开始做电测为主的，随着TFT和LCD测试，后来进入了夏普，三星在国内大家都知道TFT进来比较早的，现在都被大陆的企业和台湾的企业替代而退出。
2016年的时候我们另外一个事业起来了就是半导体测试，这一块在2016年到现在大概投入了将近4年到5年的时间，基本上在研发阶段，目前来说基本上开始开花结果有一些机器可以提供的，2019年我们公司在科创板上市了。
我们公司其实分三个跑道走，我们的主业就是LPD，第二个就是半导体测试，第三个主要是新能源汽车，我们这一块团队比较小，二三十号人，主要是做控制器为主的测试，也是围绕着我们原来核心技术--电测。
下面说一下AOI的技术在半导体的应用，早期做TFT电测信号外观的检测基本上都是人眼，现在分辨率越来越高人眼是没有办法做判断，我们也在2015年左右开始投入AOI应用技术这一块进入，随着自动化结合在一起就是一起进入这个行业。大概我也看了一下，跟我们差不多，2015年进去当时我们最早的那个时候比较早，随着自动化整个工业需求检查需求方面在今年国内市场规模达到134亿。在世界来说大概将近110亿美元，跟现在全球占有比国内10%多一点。
这几年规模市场的复合增长率，基本上30%多的复合增长率，大家知道需求量AOI测试方面市场巨大的，在AOI这一块因为我们在OLED这一块做图象检测比较早的，我们最早跟三星合作的，在某种意义上LCD、TFT的延伸，AOI取消了背光，工艺制程变了以后产生最大的问题点主要是必须做这方面的修复，这方面我们投入不管设备还是算法研发这一块比较多。
我先简单介绍一下，做模组的都会知道，局部的亮点暗点，在OLED上这块比较多，最关键的一个技术主要是当时碰到的会接，每个点差异怎么识别出来，基本上小的做到两个会接，PKS根据规模能检查出来，这是显示这一块的，外观包括表面污渍点凹凸点在TFT也会存在。
这个是整块屏的，我们通过特征提取增强技术分层拍摄，把这个点找出来，另外一个大家知道现在的屏在边缘检测比较难的，中间可能相对来说好，但是边缘因为是跟测边或者旁边的测物会干涉，这一块是说有在分层拍摄增强类似我们的算法识别出来。
OLED这个就是补长，没有处理整个面有边缘的区域显示出来就是有斑，之前要修复掉，这是整体投入研发力量最多的，同时在OLED也会有FPC的划伤，这个是外观的一块，这一块我们延伸出来的就是在我们图像识别这一块外观包括翘起都会有。
这个也有半导体测试技术，去年如果大家关注都知道一个葫芦屏，就是因为在玻璃面板，因为OLED的膜比较脆，挖孔造成有一定的误差，原来膜切完有检测的，大概7个微米左右，那是行业的标准，从去年做下来7个微米如果裂纹以下还会产生类似这种现象，类似进去以后孔是前置设想玻璃孔会往外扩散，这个主要是裂纹在7微米以下，我们现在做应该达到1微米的裂纹都能检出来，这一台我们仅仅用了两个月时间，因为这个跟原来的AOI是不一样的，因为光路系统和拍摄方法包括识别这一块都用两个月时间做出来了。
目前基本上把客户问题都解决了，行业内知道的GDS的检测有一二三四，下面这一部分简单介绍一下可能涉及到的我们现在正在研究或者涉及到的技术，一个是多重光源的拍摄，主要是使用先折相机，整个屏运动，在相机内部有各种光源连续拍摄只要走一遍，可能形成每三个就是四乘十二张照片，解决了不同角度。移过去180度的范围之内拍摄出，这是我们拍摄的技术。
另外一个就是光学系统检测，如果做IC有的看不到的，有时候暗有时候亮才能体现出来，我们这个系统也进行了一些重新的设计，这一块基本上达到表面划痕这些东西比较弱的都能检测出来。
这一块不能动，这个是我们最新研究的一个技术，可能外面前期有，但是我们已经实际应用就是光产相机技术，我们现在原来的AOI最难检测的，如果中间有异物没有办法分别到底哪一层的异物，可能要通过不同的相机组合很复杂去做，我们这个针对普通的相机在镜头上芯片上进行处理，我们成为鹰眼技术，拍一次生成立体的图形，很清晰的判断出四层哪一层，目前来说我们做到了距离在30微米左右一个层一个层，这样的话很容易的去判断出异物到底哪一层。
还有一个应用，因为我们也在做半导体测试，我们是电测，我们现在有一个大家知道的跳线测量宽度长度，立体的测量出来或者模拟出来，这一块在半导体技术上也应用到了可以做三维的测量和判断。
这个技术在OLED或者Micro OLED的特征最多的，我们现在这台设备基本上也已经达到了销售近一百台左右，这个过程主要是数据的全处理，一个是拍，拍里面的问题主要是我们碰到的问题主要是把真实的模组的量数据还原，还要进行运算，根据我们显示的到底是什么样的画面进行运算，然后进行补偿，后面的就后处理，把这些补偿数据写在模组里面，OLED就可以自动的读出来把画面的不均匀性解决掉了，这个是我们花了将近一年时间去做的，应该说这一台设备也是国内第一个量产型的。
因为我知道行业内做得还是有的，真正应用量产我们是第一家，因为现在大家知道有2.5D3D，测边怎么补偿当时也是一个难题，我们采用了一些方法把弧度的面全部能还原到真实的，我们也会根据模组的不同还原以后再做不良的AOI的检查。
这一块我们也做了一些尝试，在个别项目上，一微米的裂纹的检查就用到这个技术，原来对应测试或者检查的时候大家都知道每一个屏都不一样，京东方等等，很容易重新修改代码调整参数很麻烦，我们使用AI的话基本现在做下来还要不同的学习，新的类型的就能做好，我们同时也做一个设备，因为学习到一定程度就是死循环了很难去提高了，整个用这套方案提高了检出率我们跟原来的比用AI大概能提高两到三个点。
其实更重要的一个是我们这一块缺少人力，因为我们做应用技术或者开发的，毕竟公司设计人员有限，因为有很多产品包括不同的厂家，这一块对于设计人力成本有很大的要求。
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