苏州晶洲装备科技有限公司项目部高级经理宋金林：《砥砺十年引领平板显示前制程湿法装备》
苏州晶洲装备科技有限公司项目部高级经理宋金林
大家下午好，我是来自苏州的宋金林，前面听了几位行业同仁的分享，做设备的说实话还是比较务实干货很多，今天给大家分享湿制程，花二十分钟汇报一下十年的表现。
四个维度，我们自己的介绍还有十年的过程，我们在终端的一些量产的表现。第一个就是我们在哪儿？我们的名字已经告诉了大家，我们在苏州，苏州离这儿很近，中国大陆也结合产业分布包括河北安徽合肥和湖北武汉进行了常驻据点的布置。具体一点给大家一个概念，我们在阳澄湖西北方向十公里离大闸蟹很近的地方，第二个我们做一下自我介绍，我们苏州晶洲装备有限公司做包括可能面向平板显示、光伏、半导体，湿制程我们具体设备类型是湿法玻璃清洗等，用一些数字比较量化给大家一些概念。
首先最简单的数字就是1，项目的周总也分享了曝光这一块是中国大陆唯一一家，平板显示前制程是指OLED的CI，而湿制程的工艺设备我们是唯一的供应商，其他都是海外的朋友，2019年工信部和科技厅制定很多支持新型显示产业和泛半导体行业的一些政策等，随州晶洲装备两次获得湿制程装备的认定包括清洗机和湿法刻蚀机。
我们的产品类别给大家做一下说明，我们面向湿制程，像我们的光伏平板显示半导体，以平板显示聚焦，再看的话，包括我们的燃料清洗、光阻玻璃、湿法刻蚀、自动化和环保，以客户来说我们做得不错，大家看一下LOGO都知道中国大陆的各大面板四强都是我们目前终端客户，其他面板厂都形成了合作，这块荣誉墙也都汇报了包括省里面的成果转化和博士后基地等。
专利这块两百多项，我们会再多努力一点，汇报一下十年一路走来我们有二三十年的历程，我们入道十年也算后生了，先把十年的情况做一下基础的汇报，2011年开始从光伏起家，差不多在2016做黄光的设备面向当时的清洗，在2015年的时候那时候其实OLED行业投资变得很多，2015年做了中国大陆第一台5.5代的MLE的湿法刻蚀，差不多在2016、2018年那个时候6代遍地开花，2018年全面量产攻克了湿法刻蚀、湿法玻璃，陆续包括面向现在的新型显示和研磨板的清洗包括像一些湿法打孔屏，新型显示在陆续的跟上。
截止2020年，像8.6代和8.5代全面突破，其实能够在8.6代中超大尺寸取得整个装备尤其是制程装备前端的这种应该是为数不多的，这也有第三方的数据，字不是很清楚，我简单跟大家说一下，面向前制程和OLED我们的设备是成百上千的，具体哪些国内来做，哪些是国外的，目前在工艺链这一块，中国大陆自主可控的供应链和技术链还是需要各位同仁一起去努力，数据可以看到像工艺商这一块主要还是集中在韩，晶洲装备是目前唯一一家已经提供8.5、8.6代全系列的湿法装备的供应商。
在国内曝光供应商中，6代以下都可以突破，可能后面面向模组和TFT多一点，工序刚刚大家也都看到，有一些蓝色Mask都是我们做的，工信部领导汇报的时候也可以看到，如果湿制程全面国产化，供应链也接近一半左右自主可控，我们以OLED为例，前制程TFT不管OLED的还是LED都是图形化的过程，先清洗然后成膜然后刻蚀玻璃，周总说最多的柔性标准14左右，蓝色的地方一半左右是制程，当然也是湿制程少一半，蓝色的这一部分晶洲都可以做。
TFT来说工序比较少，CF全部都是湿制程因为都是图形化，一百多条的CF的产线可能需要十几台，所以在湿制程在供应链这一块差不多从工序数来说也接近一半左右，所以对应这一块还是比较多收到政府和客户终端的关注，我们看一下主营这一块跟大家做一些分享和实际情况，都是2020年以后的实物图，包括半导体和平板显示，精度要求很高的，所以清洗是很重要东西。
6代和8.5代来看没洗之前是多少，我们当时收集的数据是上万颗，如果这样的存在包括短路这样的电路不允许的情况存在，通过这样的设备会洗到什么程度呢？一百克以内包括8.5代。所以清洗机截止到目前面板制程和成膜洗都是可以对应的，像物理清洗和化学清洗的组合搭配由我们来为终端客户提供有效可靠的保障。
这个是我们2020年初获得的实物图，更大尺寸的因为终端的原因不太方便共享，因为当时做面板的时候一眼看面板厂很多都是这样的湿法设备，一个100K的LCD其实是百台套以上，我们刻蚀做的泛半导体行业，电路的形成会用很多的金属和很多的膜层，图形化的过程是分干法和湿法，我们截止到目前各个膜层都有实际供货到8.6代，10.5代的能力，也具备跟终端工厂做对接当中。
10K来看是制程的工艺设备，最关心的就是均匀性等等这样的考虑，工艺的保障还是不错的，六代的实物图全长30多米高度15米。图形化最后的制程是玻璃，因为最终将刻蚀后去掉，最关心的其实是两个问题，这一块差不多交付了8.5、8.6代，新型的显示OLED就是蒸镀的东西是要去除的，这台设备目前在晶洲做这件事之前全部是被海外的企业垄断就那么一两家巨头，这一块技术难度蛮大的包括安全和技术本身，都是对于很薄的膜层做这样的清洗，2020年实现量产交付，也为平板终端进行客户服务。
我们一路走来不是一蹴而就的，这是最早期像2012、2013年设备也是从2.5代，包括深层的设备一路走来也是2.5、4.5、6代艰辛的历程，尺寸大家也有印象，晶洲2.5代到8.6代有实际的交付实际，截止到目前最大的行业在10.5代具备这样的能力也在对接当中，所以我们总结一下我们在平板显示光伏和半导体领域，晶洲在湿制程是中国大陆唯一的代表企业都已经实际交付到8.6代的设备。
如果我们搞定了它也就是自主可控的供应链和技术链，一半被国人掌握，我们看一下终端服务方面就是量产的水平怎么样，跟量化的数据要洗干净，我们以平板显示如果洗不干净就是短路等，我们在清洗从LED的角度会关注是什么油污或者是附着，组成搭配的角度上根据客户终端实际情况提供干法和湿法压力和一些药液的集中使用。
我们聚焦的颗粒污染物包括颗粒和金属杂质等都是客户比较关心的问题，从这样角度去除有些玷污，把氧化膜溶解掉，最终表面防止附着最后到下一个制程镀膜然后成交，也要符合客户的情况和成本包括其他的产能和架构，从这个角度提供客户实际需要的产品也就是量产的角色。
第二个产品是湿法刻蚀，图形化过程中也会用到很多的设备，给大家形象的比喻，当时在跟一些领导汇报的时候一个比喻，我们湿法设备讲到底是用喷水去突出的，所以我用的形象比喻是水枪，它可能修饰的细胞是负六次方级别可能接近于细胞，形象的比喻就是我要用水枪获得膜层细胞级别的修饰，所以进一步刻蚀的角度会比较关注，知道膜层到底知道怎么样，还是蛮有挑战的工作，截止到目前晶洲和海外的同仁能够做这样的事情。
HRA在上午的一些面板终端客户也提到了就是新型显示，我们可能入行晚，给大家说一下新型显示晶洲做得还不错，HRA是什么？上午的报告也讲到，2019年以来包括葫芦屏和挖孔屏，这些用一些新的技术，对应的解决方案不是唯一的，其中挖孔的技术用到蚀刻。做新型的事情也是产业链的协同，晶洲在湿法工艺我们是首批供货，光阻玻璃也是举一个例子，我们讲的可能是两个维度的金属腐蚀不要有。
PR这一块量化的数据可能控制在几十颗以内，大兴机场可能也都去过，如果用Dos比喻，大兴机场的Dos控制在几十颗以内，对比清洗的解决方案最终溶解有很多的工艺，当时量产和客户终端包括了我们的前后工艺搭配，还有黄光。
当时也挑了OLED最敏感的两个维度，一个ERO一个LOD，AOI来看切片也都很好，所以到目前来看一路走来4.5、8.5代全面量产当中。另外一个维度FM刚刚也跟各位讲了，晶洲做这件事情一直是海外企业所垄断，我们这一块不仅解决了目前最大是六代项目，客户安全性角度可能会爆炸，很多工厂现在安全政策和地方政策不允许，对于取消RPA的容积同时保证FM的干燥效果，有很多东西在这里，晶洲独家专利在中国大陆授权保护。对应到这一块终端解决方案我们也跟客户做了很多，我们也进行了认证。
大家都知道，我们的显示目前主流的是LCD和OLED，目前显示其实很多都在发展当中包括Mini、Micro，京东方对外发布了MiniLED已经量产了，京东方公司在合肥量产了，我公开讲一下在京东方的量产产线从2019年开始合作，这条产线的主工艺设备对外要保密，京东方也不允许我们公开，主工艺和清洗设备是由晶洲提供，我们二三十号人长期对接，Mini、Micro技术发展当中我们跟终端洽谈当中，京东方的主工艺和清洗都是我们来提供。
晶洲面向高端湿制程不仅做设备还包括综合解决方案，第一个做设备最基础的结构设计反馈到这个结构，另外建立小的系统从我们的角度上改制添加和控制，像系统的建立结合客户和终端非常关心面板永远不能完全解决的SD这样问题为客户提供工艺和装备的综合解决。
这些是我们的产品目录，我们在苏州这是我们从6月份全面启用的新厂房，投资3个亿，这一块从今年开始全面启用年产100套以上的标准的湿制程设备，也包括的刻蚀机和湿制程研究技术中心，研究硅基为主的湿制程的工艺和装备，我们博士后基地在这块推进。
运营维度来看，虽然我们成立时间相对不是特别长也就十年，配套和管理终端客户实际需要的情况提供最可靠的湿制程的量产保障。这个也是一路走来自己总结的，我们可能晶洲虽然走了十年，突破第一台得到客户和政府一起协作的维度，第一步跟客户一起共同承担风险和专案推进，过程一路走来收获蛮多的，截止目前清洗刻蚀和玻璃全面量产交付当中，对应的新型显示和屏下技术、折叠技术和新产品技术持续跟客户在对接当中。
我们定位为装备和工艺的综合解决方案，面向湿制程搭建自主可控的工艺链和技术链，谢谢。
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